機能性光学薄膜用
スパッタリングターゲット群
概要
「光」にかかわる各種機能性薄膜用スパッタリングターゲットを幅広く取り揃えております。各種受発光素子、光学調整膜の他、多様な応用が期待されます。
低抵抗・高透過率特殊積層膜は、ITO膜よりも、低い抵抗値、高い透過率を有する積層膜です。
IZO膜は近赤外域の透過率がITO膜より高い透明導電性膜です。また、熱処理が不要ですので樹脂等への成膜が可能です。
黒色膜(BMシリーズ)は、スパッタ条件の調整により、半透過から完全遮光膜の作製が可能です。金属配線の反射防止の他、ダークメタリック加飾フィルム等の作製に適します。
NSシリーズは、広範囲の屈折率を有する膜を揃えており、光学調整が可能な他、高バリア性、高耐候性等の特徴を有します。
用途例
「光」にかかわる各種機能性薄膜用スパッタリングターゲットを幅広く取り揃えております。各種受発光素子、光学調整膜の他、多様な応用が期待されます。ご要望に合わせた材料設計にも対応いたします。
可視～近赤外透明導電性IZO膜
特徴
近赤外域の透過率がITO膜より高い透明導電成膜です。
熱処理は不要ですので樹脂等への成膜が可能です。
また、アモルファス膜のため高い平滑性を有します。
低抵抗・高透過率特殊積層膜
特徴
従来からFPD用画素電極として用いられているITO膜よりも、低抵抗、高透過率を有する特殊積層膜です。
黒色膜：BMシリーズ
特徴
BMシリーズはスパッタ条件の調整により、半透過から完全遮光な膜の作製が可能です。遮光性を活かして金属配線の反射防止などの利用が可能です。
また、金属との積層膜は同時エッチングが可能です。
光学調整 & 高バリア: NSシリーズ
特徴
広範囲の屈折率を有する膜をそろえており、光学調整が可能です。
そのほか、高バリア、高耐候性等の特徴を有します。
スパッタとは？
よくある質問
製膜方法は何でしょうか？
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全ての材料はDCスパッタリング法で成膜できます。材料によってはスパッタガス中に微量の酸素を導入することで、膜特性の改善、調整が可能です。
特殊積層膜は、ITOよりも低抵抗・高透過率とのことですが、単膜での特性でしょうか？
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特殊積層膜は2層から成る積層膜です。高温で熱処理することで、ITOを超える特性を得ることができます。
IZO膜の特徴を教えてください。
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IZOは室温でアモルファス構造が安定な膜で、この状態で低抵抗、高透過率が得られます。ITOのように結晶化のための熱処理は不要です。従って、熱処理が困難な樹脂等への成膜が可能です。また、繰返し屈曲に対しても耐性があり膜抵抗の増加は小さいです。
BM膜と黒色塗料との違いは何でしょうか？
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BM膜が金属面の反射光を遮ることができるのは、BM膜の表面反射光と下地の金属面からの反射光とが干渉効果により打ち消されるためです。これはレンズの反射防止膜の原理と同じです。従って、黒色塗料のような厚塗りの必要はありません。BM膜は薄膜ですので、金属との積層膜はフォトリソグラフィーによる微細加工、および金属膜との同時エッチングが可能です。
NS膜はどのように使用するのでしょうか？
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屈折率の異なる膜の界面では光が反射されるため、光の透過率が低下します。この界面に中間の屈折率を有する膜を挿入することで界面での反射を小さくして、光の透過率を改善することができます。NSシリーズは幅広い屈折率に対応していますので、様々な積層膜の透過率の改善に使用できます。また、アモルファス構造の膜ですので、発生する膜応力が小さく積層膜の製造が容易です。また、膜自体にバリア性がありますので、封止膜の機能を持たせることも可能です。
使用を検討したいが、評価用のサンプル膜の提供は可能か？
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基板サイズに制限がありますが、評価サンプルの提供は可能です。また、ご使用状況での最適材料の提案も致します。ご相談ください。