半導体向け
スパッタリングターゲット
概要
近年のデバイスには、低消費電力や高速化が一層求められ、その実現のため半導体には様々な種類の高品質なターゲットが必要となっています。当社の半導体用ターゲットは、高純度をキーワードとした製品を、量産品から開発品に至るまで、安定性に優れたプロセスによりお届けしております。また、国内外の充実した製造・サービス拠点が、タイムリーな技術、営業、納期対応を可能としています。
用途例
ご採用のメリット
デバイスの信頼性向上に貢献する高純度での各種ターゲットがご提供可能です。
その他ターゲットのラインアップの例
| Material | CuMn | CuAl | WSi | WTi | NiPt | Si |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Purity | 5N | 6N | 5N | 4N5 | 4N5 | 6N |
| Material | GeSbTe | CoFeB | Carbon |
|---|---|---|---|
| Purity | 4N | 3N | 5N |
| Material | MgO | IGZO | Ta | Ti | Cu | W | Co |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Purity | 4N | 4N | 4N5 | 5N5 | 6N | 5N | 5N |
スパッタとは？
よくある質問
サンプルは提供できますか
-
可能です。仕様や数量は別途相談させてください。
製品ラインナップにない試作品も対応可能ですか
-
可能です。仕様や数量は別途相談させてください。